微电子机械系统(MEMS)简称微机械,是对微小机械和电子元件组合的称呼。微电子机械,从广义上讲是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路,以及接口、通讯和电源等于一体的几何尺寸不超过1平方微米的微型机电一体化产品。最小体积的远期攻坚目标是微米~纳米的范畴。专家们预测微电子机械技术,将在下世纪初期相继造就一大批产品问世,并投入使用,必将影响和主宰下世纪最初十年全球经济大发展。同时将在二十一世纪形成难以估量的庞大高技术市场,它的规模之大,将远远超过微电子芯片产业,使传统的电子机械工业发生革命性的变革,导致出现一个新的高技术浪潮。. m, b) F1 s' |
, c0 z. {. |) _( A: v自微电子机械技术诞生不久,立即引起了世界各国科学界和政府部门的高度重视。经过短短几年发展,微电子机械技术已跻身于世界十大科技之列,是二十一世纪的核心技术。相对传统机械而言,微型机械具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和智能化程度高等特点。应当强调的是,微型机械并不是传统机械的简单微型化,而是基于现代科学技术在一种崭新的思维方式指导下的产物,它远远超出了传统机械的概念和范畴,微型机械在尺寸、结构、材料、制造方法和工作原理等方面,都与传统机械截然不同,因而微型机械学的学科基础、研究内容和研究手段等也与传统机械学不同,而且有其独特的学科系统,构成一门新的学科。1 y: \* Z7 G. a B8 l; M# D