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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A9 f2 d; w5 u# d& G
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美军标关于光学表面疵病的说明1 v+ y& c0 z4 d/ q5 q# a
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一.定义: . K( E2 j: Q y) G3 x
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表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。 7 z- e2 ]9 J7 k3 S! w5 k
/ X( K: S# }/ ?5 {道子、亮路都统称为划痕。
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斑点、坑点、点子 都称为麻点。 ; A: L/ \/ `5 ]" l& Y- O
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规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。
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当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。 : v4 k D0 E' f8 b/ J
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§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。
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划痕: . Z; M! ^7 z6 A& u( W# n
% |; U" X Z& T以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)
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; Z w+ z& N; O" _! d这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。 & g7 C, |4 v9 v
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§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:0 E+ X! A6 p g! L" C4 v
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1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。 & }2 g5 D7 b+ K. Y1 q( E" E+ U
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例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。
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2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
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9 G2 j, s: e% p4 ^, X+ T例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 9 E* u6 c3 v4 @, d/ e( g! _ F. c r
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它的等效直径为20mm
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1/4D为1/4×20=5mm
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最大划痕的长度和为:
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; v \6 J0 b% g- q) \ 3mm+3mm=6mm
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6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。
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; a: P( l$ h7 C3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
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例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。
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! a. A$ @( N" u3 E) g 它的等效直径为20mm # U" t1 D7 @! \6 c
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1/4D为1/4×20=5mm / F# ^2 o5 o, c
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最大划痕的长度和为: Y J) L# M* v+ \+ X* Z! e
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2mm+2mm=4mm ) A& \- F* ~4 y9 M9 d5 N: X' x) f
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4mm<5mm。符合2条。
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4 Y) } Q0 }; |+ [7 y但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
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1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)
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. W. Z/ ?, y7 y* {5 @2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
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40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20 7 X) m* t9 ]7 N
' ~% T7 l# j) y( a8 T0 h3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 5 J2 E% d4 q% a0 g
- r' g. g8 V& m4 E, ^
[60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36 8 ^3 f- R+ }' P: h( Z
4 p3 v4 Q: [+ d0 {: ]7 c. c9 `
元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。
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, T1 ]* W- X$ D' k0 J8 h5 V4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
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4 O/ I. F6 V; J$ t/ k8 r例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。
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所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: $ w' d+ Q; `, |) j8 c1 d
: ]( d h, _2 g3 k! v[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66 : u) x2 R9 h" x) o6 H r7 |
$ F" q, ]! m4 M, \3 W9 m$ C; n元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。
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7 B% }6 z, B2 L" g. g; ?3 q' N5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 - b9 V0 Y$ |$ p Q4 J
! V% C* B* }0 w8 n. m8 s4 ~/ h 1 }% u( b# R8 s# o: @
. ~3 C6 z: p! w0 \- g1 z例:表面质量指标为20-10,Æ20mm, ! W. e! I* e9 @* j
; K2 Y2 e$ D0 N" h. t在如图(1)所示的区或有2条长1mm ' u9 U% T% x+ _
+ @2 W7 }1 R A( C
和2条长0.5mm的10#划痕。
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它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3)
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但它不符合5.1.5条。元件不合格。
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1 N, L$ v0 E0 e" n6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。
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麻点: 5 f+ l3 i, }2 K7 M7 `. o6 x
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依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。 ) B7 D# o4 v4 X6 q: ]
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(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点) 5 Q' u' F* W+ ^, {/ x& o
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$ F1 w, Y, t* K1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。 7 o! e6 R, D2 C* L/ [6 C
" _9 I& R U4 t* l例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。 5 I& s9 g1 a+ p7 a' k! p& H
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, M' l% [) S% I4 p- P4 K! l2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。
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例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格 * _2 N" q( R* Y# k) Q, _: }+ w8 U6 {; u
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4 Q1 u* `3 S( S: l# j F# s3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍
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+ t& ]- v6 E) W C0 L例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。 ' a V! Y" Y$ a/ H! j- z
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§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
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例:元件40mm×40mm的元件,
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6 O% e( C* x) }' \: ^3 X) {质量指标要求为20-10, $ J, T6 D7 ~+ m3 f# k" ]
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有两个5#的点子,点子
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) q- z0 h- E2 v4 G1 A' o4 T& i7 a之间的距离为0.8mm. & b8 R; P9 \( L
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0.8mm<1mm元件不合格 " ]; i0 A& J5 ^) V: u
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§5.小于2.5um的麻点略去不计。
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6 ~+ G5 l- i. o§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小7 a" U, e' p5 f* l4 ?0 p- X$ E+ c4 {
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§气泡和包络:包络当作气泡考虑。* Q, d# _ d5 j' a0 T
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/ G3 x% H- E/ T5 y8 r7 q8 }; a3 M0 R& K- A0 q& L+ f
依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
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" a+ q& D# c, l8 R% V气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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