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本帖最后由 wwjxgz 于 2010-6-4 21:33 编辑 4 D! }+ R/ ?( N S$ ]4 ?3 R& f$ F
1 b) n B/ c+ V; t! j! L! e8 m" _热处理对 TiAlCN涂层组织和性能的影响
' B6 m, Z5 L( {张旭海, 陈倩栎, 蒋建清, 方 峰, 江静华, 曾宇乔) S* D, a. ]2 P/ t7 M
(江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室 ,东南大学材料科学与工程学院 , 江苏 南京 211189)- H! y# B/ J7 N+ r( P
摘 要: 在Ar气条件下 ,对反应磁控溅射法制备的 TiAlCN涂层进行 500～1100 ℃热处理。采用 XRD、Raman和 DSC,研究不同热6 t: m: B; Q+ w; o+ n
处理温度下涂层微观结构的变化 ,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明 ,经 600～800 ℃热处理后 ,
+ v% h1 @/ m2 R6 e8 a涂层非晶碳相明显增加 ,使涂层形成纳米复合结构 ,这导致显微硬度显著增加 ,膜基结合性能增加;在 900～1100 ℃热处理后 ,由
$ [4 r6 }& v1 _5 I于涂层中六方AlN相的析出 ,导致涂层显微硬度急剧下降 ,且韧性下降。+ c- l1 q" F* ~ t" x& v Q5 M
关键词:TiAlCN; 热处理; 硬度 |
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发表于 2010-6-4 21:02:42
