高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究

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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
阳建华　　张　帅　　陈继民
8 ]# |3 `$ ^& n3 Y1 I9 D(北京工业大学激光工程研究院　北京100022)
' Q( s0 I" T4 P6 N$ i" F$ d3 K　　提要　通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验
# e2 X- f/ Z4 y3 Z. `% w设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质
" O9 g3 q! l7 G1 B3 |! L' }! c5 Y% H" V6 o量的铜质薄膜器件。
) L# S9 n3 {% o7 X- i- y1 O5 f　　关键词　紫外激光　微加工　掩膜　激光切割

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了解下，多学点东西没坏处。