用CVD法在陶瓷颗粒表面获得TiN涂层与应用

放鹤

用CVD法在陶瓷颗粒表面获得TiN涂层与应用
7 t4 |: g) r) d2 n/ J- a王恩泽郑燕青邢建东鲍崇高
(西安交通大学机械工程学院.西安710049)
摘要研制了适合陶瓷颗粒表而涂层处理的化学气相沉积装置，并探索了在氧化铝颗粒表而获得T iN涂层的工艺;所获得的T iN涂层能提高耐热钢在氧化铝颗粒间的铸渗深度，并使颗粒得到基体的牢固支撑氧化铝颗粒体积分数在23% ^ 57%可调
1 o. O- T; x& k5 k关键词化学气相沉积，T iN涂层，氧化铝颗粒，耐热钢基体，复合材料
. E+ v8 r" D) {中图分类号TB331, TQ174.758