显微测量|显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌

中图仪器

显微测量的原理及其在先进制造业中的意义
5 ~: t! \  ^$ A- r& m显微测量是利用显微镜实现对微小尺寸和形状的测量的一种技术手段。它能以高精确度测量微观尺寸，帮助制造业实现更高质量的产品。
显微测量的原理主要基于光学和机械原理。在显微镜的帮助下，可以放大被测物体的面积和形状，使其更容易被观察和测量。这种技术的应用范围非常广泛，涵盖了诸多领域。
在先进制造业中，不管是零件尺寸的测量还是表面质量的评估，显微测量都可以提供高精度的数据支持。这对于确保产品的质量和一致性至关重要；通过测量微小尺寸的变化和形状的改变，显微测量还可以获取加工过程中的有价值的信息，帮助制造业进行工艺优化。
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中图仪器显微测量仪集合光学干涉、3D成像算法、纳米驱动关键技术，为制造业提供了准确、可靠的测量手段：
1、三维显微成像
W系列光学3D表面轮廓仪，Z向测量精度达到纳米级。它基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）、几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。
/ h; @1 q2 G% L' D! d6 j针对超光滑凹面弧形所需同时满足的高精度、大扫描范围测量需求，W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。

VT6000共聚焦显微镜，大倾角超清纳米测量。它用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。
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0 Q7 @  h  _6 d7 @- g3 e2、二维超精密测量
- t; W- s  F% j6 GCP系列台阶仪，亚埃级垂直分辨率。作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。
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6 |* s2 r9 L- c( s+ L& U3 S8 c5 N显微测量技术在先进制造业中具有至关重要的意义。它为制造业提供了准确、可靠的测量手段，帮助企业实现了更高水平的制造和更高质量的产品。随着科技的不断进步，相信显微测量技术将会在未来取得更大的突破和应用。