真空泵的选择

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真空泵的选择

1 y/ f$ g) r. P选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
( f; s, W7 V1 m7 `    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
' C. P. C9 [5 c! [; H  d    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
/ @! ?5 F5 E+ O4 \4 w: ~: q    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
5 L  F5 Y9 A6 r+ o    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
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水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
　　泵工作时，需要注意以下两个方面：

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
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' _* \1 A' D6 l7 ]. P+ y　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点 ! {  F, a* E( x8 q	极限真空度 3 O, S% L  H2 H6 R6 DmmHg	工作真空度 ( r1 N( D& R1 y" H: {mmHg	抽速范围 0 c1 R- v6 o+ |8 g; [. @* Rm3/min	密封形式
SK 0 G  p; B  O. A  B' R$ P* S: p6 ~$ B	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 # T9 \6 h0 A8 P7 ^3 Y	-700	-300~-650 1 g/ o1 @; I$ U7 i	0.15~120 ' b. M: O' y' F1 Z. W  Y! u- F	盘根、 机械密封 2 a# E4 q) c7 g  P% c) d* V5 u
2SK 8 h# D0 ?  b- W, `9 U4 h* _4 \	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 5 O! P, e/ y) H. \	-735	-300~-700	1.5~30 ( w$ G9 y' ?# z5 G- D! }4 m	盘根、 0 r3 m1 }+ \4 [8 J7 L机械密封 6 Z% M' f# W/ E) k  Q
2BV	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。	-735	-300~-700	0.45~8.33 2 X1 T4 u+ |  p	机械密封 8 F' w$ v' g1 _6 Y1 ]( l
2BE1	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 6 g+ U" ]% T6 b4 @0 s7 `	-735 2 H# \6 M  s; u8 I" L-640	-300~-700 9 c) ~: |8 c: f6 l' F0 X-300~-600 ( h2 W- w6 v6 T* \/ ~6 }* M	5~400	盘根、 机械密封
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。	-640~-700 " ]0 i! F6 q5 ~0 s$ T8 R	-300~-650	1.5~27	盘根 * R& W0 |/ ]9 H8 Z4 v
SZB 4 H$ L6 R, G! v  t+ I  S	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600	-300~-550   u) l  R$ ?  M# n' H& h6 [% H	0.33~0.66 + G) U8 i" O. a$ q5 j, T	盘根
2SY 8 C- |5 n4 N" i, F/ ]% m	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa . u. P8 I9 O5 J7 o8 ]( A. p	-	- & H- o% J2 Z# m- Z3 X	6~30	机械密封 ' }+ B! E8 c: f& S# q7 o. P( ]
2YK	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。	-755	-300~-720 ; Z) l, H5 D" O3 h( W- G/ b	1.5~30	机械密封 : v2 I3 B& p# ]9 b* b# s

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xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！