真空泵的选择

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真空泵的选择

选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2 Y0 _0 a: b+ S  q; t    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
9 f7 u& l# D2 O" q; Z$ w! `  ~    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
5 Q2 h0 a6 T) A9 b" W    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
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水环式真空泵的选择

- e# L6 A, E" r# d8 W' C一、泵类型的确定
0 s0 P$ Y; C  J* [0 F　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
9 x# z# K6 g- Q* s　　泵工作时，需要注意以下两个方面：

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。

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　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号 + M2 L  o" ]3 d+ O* S	主要特点	极限真空度 # V9 k* G/ ~! H* P- h2 HmmHg	工作真空度 mmHg	抽速范围 m3/min 2 I3 y3 M' r& v: k$ @! z	密封形式
SK	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。	-700 ) i8 c7 Z' ^' R" ^% L. @: T	-300~-650 ; ?+ ^7 I* g; [$ a	0.15~120 $ C8 p. h) y% G! d2 R! ~. k	盘根、 机械密封 0 D1 Y4 L& {) B8 V. P* `
2SK 7 C* Y7 s% w2 |4 Z. w" `! J4 A	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 0 `  N% h$ e! D' Z- [/ h	-735 , [! P* O  v+ N. a. e	-300~-700 / @/ t/ j/ u3 b	1.5~30 # M1 b5 i7 u! t- u; }% X/ {+ }	盘根、 机械密封
2BV	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。	-735	-300~-700	0.45~8.33 7 B" W; Z6 `. I5 \( r3 Z	机械密封 + F- b+ c% Z9 t2 o# V; k+ L! X& U
2BE1 + M3 A8 [5 ~5 t; ^	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。	-735 -640	-300~-700 / r6 {( ~( ~; u7 l! ~-300~-600	5~400 7 {/ V. E0 I4 U1 v0 _9 A4 ]/ [	盘根、 机械密封 ! l/ A& w$ ?5 L) w( w! h5 t
SZ ) R& t+ N2 [- z# N3 ^, r, d	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。 4 ~0 j# d) y+ l& t8 v7 v* k, y2 p- g	-640~-700	-300~-650	1.5~27	盘根
SZB	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600	-300~-550 3 {+ o& t) i* Z; Z	0.33~0.66	盘根 ' F3 O" d* B  o. u4 ~! A5 \% D
2SY	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	- ; V/ W6 T" Z1 Y7 a0 L  P' D; s	- $ y5 C; k; \. x) E/ q* i	6~30 & j: b/ E8 O0 J' m	机械密封
2YK	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。	-755	-300~-720	1.5~30 0 ^- G! x; B. q& N1 C7 ]	机械密封 : S4 @1 }  o5 b2 U, f3 L

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！