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[新技术] 超精密加工的技术基础和创新

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发表于 2007-3-25 14:59:16 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国辽宁沈阳

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超精密加工的技术基础和创新  论文 PDF
, B" O. [) f5 a0 ~: _来源《新技术新工艺》杂志) Z" N5 c1 K6 R
超精密加工的技术基础和创新
吴敏镜 
摘 要:主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法.+ F$ {& ?) o6 K7 n) V
关键词:超精密加工;金刚石切削;加工精度;表面完整性
, k! D. `" Q3 t分类号:TG50  文献标识码:A

. P  n2 d; {; K7 D9 [; E
Supporting Technology and Innovation of Ultra Precise Processing
$ D  X4 H* P( `
作者单位:吴敏镜(中国航天科技集团公司230厂,100854) ; p5 Y& ^6 h  L
参考文献:
' r, H' B# X8 D[1]石川宪一,等.关于利用椭圆振动的内圆刃切片的力学研究--关于椭圆振动的切片加工机理切断力的动态[J].精密工学会志(日),1999,65(11):1605-1610.9 `: Y: S/ E  s7 q4 V
[2]江田弘,等.口径直径300 mm硅晶片用加工机械的开发[J].精密工学会志(日),2001,67(10):1693-1697.
2 c1 c% n8 \2 a9 Q[3]郭东明,等.集成电路制造中的超精密加工技术[M]//柳百成.工程前沿(第1卷):未来的制造科技与技术:213-226.
2 Z( i3 J$ O+ {, G[4]井川直哉.超精密机械加工技术的现状与课题[J].精密工学会志(日),2002,68(1):54-58.
  G$ c. h& }) S* ~7 q) O[5]吉田嘉太郎.超精密加工与构成于是要素[J].应用机械工学(日),1988,29(2):70-79.8 e% ?! k6 I1 n
[6]最硬的钻石.参考消息:2006年2月10日.  U+ c, {/ f& H7 x/ R( M+ D! G

9 R- F' H: F  Y9 z% p% G

超精密加工的技术基础和创新.pdf

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发表于 2008-9-17 23:13:48 | 显示全部楼层 来自: 中国广东东莞
提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽
发表于 2009-11-28 22:59:21 | 显示全部楼层 来自: 中国重庆
06年左右的论文了,有点老了啊,没有突出新技术
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