|
|
马上注册,结识高手,享用更多资源,轻松玩转三维网社区。
您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册
x
超精密加工的技术基础和创新 论文 PDF
, B" O. [) f5 a0 ~: _来源《新技术新工艺》杂志) Z" N5 c1 K6 R
超精密加工的技术基础和创新 吴敏镜 摘 要:主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法.+ F$ {& ?) o6 K7 n) V
关键词:超精密加工;金刚石切削;加工精度;表面完整性
, k! D. `" Q3 t分类号:TG50 文献标识码:A
. P n2 d; {; K7 D9 [; ESupporting Technology and Innovation of Ultra Precise Processing | $ D X4 H* P( `
作者单位:吴敏镜(中国航天科技集团公司230厂,100854) ; p5 Y& ^6 h L
参考文献:
' r, H' B# X8 D[1]石川宪一,等.关于利用椭圆振动的内圆刃切片的力学研究--关于椭圆振动的切片加工机理切断力的动态[J].精密工学会志(日),1999,65(11):1605-1610.9 `: Y: S/ E s7 q4 V
[2]江田弘,等.口径直径300 mm硅晶片用加工机械的开发[J].精密工学会志(日),2001,67(10):1693-1697.
2 c1 c% n8 \2 a9 Q[3]郭东明,等.集成电路制造中的超精密加工技术[M]//柳百成.工程前沿(第1卷):未来的制造科技与技术:213-226.
2 Z( i3 J$ O+ {, G[4]井川直哉.超精密机械加工技术的现状与课题[J].精密工学会志(日),2002,68(1):54-58.
G$ c. h& }) S* ~7 q) O[5]吉田嘉太郎.超精密加工与构成于是要素[J].应用机械工学(日),1988,29(2):70-79.8 e% ?! k6 I1 n
[6]最硬的钻石.参考消息:2006年2月10日. U+ c, {/ f& H7 x/ R( M+ D! G
9 R- F' H: F Y9 z% p% G |
|