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【题 名】 新兴纳米加工技术简介
7 { E' a2 u6 h) ~9 A【作 者】 荣烈润 , B h; q1 h$ ?6 L
【刊 名】 机电一体化.2006,12(5).-6-11 1 Q6 E3 l: E- E! G
【ISSN号】 1007-080X / N6 l$ b: x i3 ^( @( m, |0 V
【C N 号】 31-1714 5 ?* `/ z8 }; k+ v! Q8 H9 f
【关键词】 纳米加工技术 纳米结构 纳米压印技术 准分子激光 聚焦离子束 2 m; [' ~$ X; V B, F
【文 摘】 文章对几种新兴的纳米加工技术的工作原理、特点及应用作了简介。 |
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