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真空镀膜机的原理及故障分析
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(南京电子器件研究所 南京 )
+ k/ R) l" H9 u6 { 2002年4月7 |6 _. k( p8 T& {9 ^- T, G3 e/ V
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摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。% f5 U2 [- J* [1 M2 @5 S/ a& _
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关键词：真空镀膜 高压电源 维修# X- e/ v( W* c& c& u
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中图分类号：TN305.8 文献标识码:A
9 p4 v, F8 i% a% c; l L文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
