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发表于 2007-11-10 12:38:01
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来自: 中国陕西西安
Murakami是日本村上的姓氏啊
9 D- a, S0 N$ g# teds是能量分散光谱仪! Z* Q1 t0 D9 q/ p# R/ w- t: x
bse背向散射电子侦测器
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虽然SEM照片更常由二次电子成像,但背向散射电子也包含样品表面凹凸形貌和组成的非常有价值的信息。样品中的元素信息并不必须求助于能量分散光谱仪(EDS),优质可靠的的BSE侦测器可以以更快的速度、更低的价格提供同样的信息。 ; @8 S7 w$ r0 ^" ^9 l
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早期的SEM生产厂商并未使用BSE侦测器,如果用户需要这方面的信息,则需要另外购买一台侦测器。从某个时间开始,一些生产厂商开始在他们的产品中增加BSE侦测器,使用频率最高的侦测器当然是原始的 Robinson BSE侦测器。我们强调“原始的”,是因为近年来,不少人试图仿制原始BSE侦测器的设计,但它们绝仿制不出一样的性能。 i: y! F; Z$ l
# @% M: f, A! ~5 |2 X5 E现在,有两种不同的BSE侦测器:一种为Robinson设计,使用闪烁物技术;另一种固态侦测器,使用硅二极管。Robinson博士几乎将其整个职业生涯致力于改进一种已经很卓越的产品,但每次他把使用固态侦测器所得到的结果同使用闪烁物侦测所得到的结果进行比较,同大多数主流的圆柱形仪器生产商一样,Robinson博士认为,对大多数用户来说,闪烁物技术明显更好。例如,使用Robinson BSE侦测器,不管焦距有多远,噪音信号都非常好;而使用固态侦测器,只有在焦距较短时,才可能得到相应的噪音数据的信号。对一些潜在用户来说,这一特征大大限制了侦测器的用途。 + W, `/ v X- @8 }
4 ^& F. ]% M6 b2 F0 W0 }为什么SEM上需要一台Robinson背向散射电子侦测器?
6 X! c! ^ ~' H1 ?; m! U( p$ ~首先,最简单的原因可能是您没有,或者您有但已经坏了。Robinson BSE 侦测器当今的市场主要是那些购买了含有内置BSE侦测器的SEM的用户,这些内置侦测器由为SEM的原始设备制造商工作的缺少经验的设计者们制造,或由那些没有意识到固态侦测器较之Robinson侦测器的重大缺陷,而在早期购买了固态侦测器的厂商制造。我们接下来要说的是:并不是所有的BSE侦测器都是一样的.......作为新SEM的“标准”BSE侦测器同Robinson BSE系列8侦测器之间存在很大的区别。 # `5 q8 }( p6 _) E( j" k
2 K7 o- x5 ?. Z3 Y6 F3 C; s 装配了Robinson系列8.6背向散射电子侦测器的JEOL?6700F FESEM所呈现的背向散射电子成像证明了肾小球肾炎的变化。 有些什么区别呢?3 c+ k2 a( D6 [& H% f6 S# m' T
有一个很恰当的说法:它们之间的区别就如同“精简”版同“完全”版之间的区别。例如,一个低信噪比,一个高信噪比。使用新SEM上的标准侦测器,在低加速电压下,通常没有信号。而使用Robinson系列8,在低加速电压下,也能轻易得到信号。当然,由制造厂商提供的侦测器,不能获得通常应用所要求的空间分辨率。因此,即使制造厂商所提供的配有新设备的侦测器确实能得到可接受的原子序数分辨率,然而由于上述的一些其它原因,如Robinson 系列8 BSE侦测器的优良性能,新侦测器仍将取代已经相当一部分安装在工具上的标准侦测器。 / f- U5 j2 f4 D" Y5 k
6 L# S# _+ E8 y/ D当然,随着时间的推移,电子学的进步,即使闪烁物材料并未改进,“它们现在同以前也很不一样了”。就像您将不再愿意使用一台20年前的旧电脑,甚至是10年前,您也不会愿意使用一台10年或20年前的旧BSE侦测器。您的工作是如此重要,您应该不愿意放弃利用新侦测器的优势。就象所有其它电子产品,Robinson BSE侦测器的价格非常低,因为随着科技的进步,制造性能更好而成本更低的侦测器成为可能。 5 @8 K" e8 Z# ]9 c
4 c+ R/ e" [ e! O8 h当然,您应该考虑升级系统至新的Robinson BSE侦测器的真正原因仅仅在于它将延长SEM的使用寿命,扩展其用途。性能良好的BSE侦测器,可以从同一样品上得到多得多的信息。如果真的被强制升级整个SEM实验室,其使用寿命可延长一年或更长时间。 在研究预算有限或减少的时间里,这是非常值得考虑的。
: y+ w6 `% v7 [: J' s1 B. g. ?最后但并非最重要的一点是,还有另外一个原因!( T- A2 Z z# u( ?$ E1 s2 ]1 j
注意,右边BSE图像不是一个错误。它是一台配备了Robinson系列8.6背向散射电子侦测器的JEOL?6700F FESEM所呈现的图像。 当然,它看似TEM图像,但并非如此!这个样品取自于肾的活组织切片,其图像呈现出具有严重的肾病。 值得注意的是,就目前而言,也只有BSE侦测器能够呈现这样的图像,这也就导致了SEM与TEM之间的"竞争"。但是,回想一下:当使用TEM进行操作时,这样的样品受限于如何将其包含在直径为3mm的网格中。但是,当使用SEM操作时,则可以使用较大的样品,大小尺度可以cm为单位进行估量。有些进行日常活组织切片检查的病理学者对此大为感慨,不仅因为能够获得更高质量的图像,还因为能够利用FESEM获取BSE图像。 |
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