毕业设计求助

魏正军 · 发表于 2008-1-3 13:53:33

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我毕业设计的题目是：光刻机精密工作台设计我不太懂是什么，请大家指点指点

跟贴的朋友一定要注意，请多多指点楼主。主体的设计任务必须由楼主完成（大家也可帮忙指点楼主的思路），但不是您给他做，其他回帖一律删除，并扣分处理，或者删除ID，后果自负，请谨记！

[ 本帖最后由 asdolmlm 于 2008-3-13 20:02 编辑 ]

ZEDIO · 发表于 2008-1-3 14:55:04

题目太大，表述不清楚，无法帮助你

hourpp · 发表于 2008-1-3 15:47:38

光刻机超精密工件台研究（无全文）RESEARCH ON ULTRA-PRECISION STAGES OF LITHOGRAPHY<<电子工业专用设备 >>2004年02期
朱煜 , 尹文生 , 段广洪

针对步进扫描投影型光刻机超精密工件台开展研究,所搭建的超精密气浮运动试验台采用气浮直线导轨支撑、直线电机驱动、直线光栅尺反馈组成大行程直线运动系统,其上叠加洛仑兹电机驱动的气浮微动台,提供对直线电机运动的精度补偿,由双频激光干涉仪提供粗、精动运动系统的超精密位置检测和反馈,两套直线运动系统可研究同步扫描运动,并可灵活地组成多种x-y超精密运动系统.介绍了基于该试验台进行的超精密运动控制试验研究,运动定位精度已经达到12 nm.

[ 本帖最后由 asdolmlm 于 2008-1-9 20:59 编辑 ]

abc529542670 · 发表于 2008-1-9 19:36:56

毕业设计还是自己搞吧，课堂上肯定都讲了的

daguang · 发表于 2008-1-9 19:57:16

我给你忠告好了，对于机械行业的人来说，在学校里学的可以不怎么样，但课程和毕业设计一定要好好做！！许多人不明白这一点，其实工作后你就会知道，学的东西再多也要用于实践，而设计就是最好的实践，不要逃避，慢慢来！！

魏正军 · 发表于 2008-1-11 15:42:56

谢谢楼上的了，我知道。就是想有个头冒冒失失的去找老师不太好网上找关于这个的资料太少了

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