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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理
: e" l4 S) A3 p3 {
$ ~# [5 _- F1 `内容简介
0 N8 K z" Q! H7 o2 @2 x* T 本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。& v+ R$ ^: @! W$ R6 {/ e# v
本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。 ; @- q) u! T |% b) _3 s& u
4 p3 D. h. ~9 j# R$ ]
本书目录
% l* x& s7 ]& @( T第1章 概 述 5 C9 _* A: Y7 }# x" v2 {! J( Z
1.1 材料处理 % i% m) D0 F) Y7 ?/ `$ z' d
1.2 等离子体和鞘层 : D! }+ J! q7 l0 C. i: D
1.3 放 电 K* _6 t% A( t# F0 E+ ?% ]
1.4 符号和单位
+ h: h: Y9 Y3 m- R第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质
( ~% k. ]* Q8 R' K2.1 引 言 ; x' O. x/ J4 c2 t( s
2.2 场方程、电流和电压" D5 z' n: g1 ?6 M' g7 q
2.3 守恒方程' C) h, [4 @5 U
2.4 平衡态性质
" H- w K/ o, T& o习 题 2 o. h, x- Y6 Z* ^4 X3 y# H
第3章 原子碰撞 9 v6 d! t! T; j5 n+ D7 m- G' G
3.1 基本概念
6 R; d4 u: t! [1 ^3.2 碰撞动力学 - @- [0 W S% ~/ e7 u& _2 t1 q. d
3.3 弹性散射
8 B' }- [7 m7 W$ T, K' v3.4 非弹性碰撞
, @5 Q2 ^. P0 N9 ]; q3.5 求分布函数下的平均值和表面效应
( B+ N: S7 C& W7 k- A- m7 n习 题
& E1 R: U! U; k第4章 等离子体动力学
: v+ L1 F: W/ U9 y9 T2 k4.1 基本运动
8 }1 Y4 u6 i% Z$ W o. V4.2 非磁化等离子体动力学
; o/ j7 u) i* x9 P. q7 I4.3 导向中心运动
$ r' \+ l$ F+ L; s' R/ N( O4.4 磁化等离子体动力学
A' A6 a9 M: x# C% [4.5 磁化等离子体中的波
- |0 L$ C$ B5 S4.6 波诊断
0 ^) o) { b& B& B, d3 V习 题
. ]8 _) S4 d3 ]: b第5章 扩散和输运
6 }* h4 u4 @# Z; g# e! C7 B0 f$ @5.1 基本关系式
( t. H+ j' Q+ w4 c7 F8 o2 \5.2 扩散方程的解
4 n4 o, p+ U* ?5.3 低气压解
( p U5 a+ x+ u! m5.4 在磁场中的扩散过程$ f* g F* H3 g- v+ ]% `
5.5 磁多极约束- O. J1 Z4 M! k4 V
习 题 + y/ [6 t( ^6 r3 ^" \( [
第6章 直流鞘层
. s* x* o5 w/ K v( M/ b6.1 基本概念和方程 " k9 v7 c4 |$ ^" a
6.2 玻姆鞘层判据 % t3 l# i0 ^3 `/ q& `1 ]/ {8 D
6.3 高电压鞘层
! G: l; q- ?' K3 @" S6.4 鞘层形成的广义判据
& [ q2 V, T& O+ Z8 R: q. r5 e6.5 高电压碰撞鞘层
n$ Y% k. {2 g8 Z, P6.6 静电探针诊断7 F5 j; A k) [
习 题
! r0 B( B; s6 ] T }第7章 化学反应和平衡
1 A- y3 Q2 Y0 h# _( u j: ?7.1 引 言 $ C! J0 c$ s2 Y+ u! X: D- S
7.2 能量和焓
5 s6 \% S2 N. ~9 O3 v7.3 熵和吉布斯自由能
4 `3 ^5 f* _& \ X7.4 化学平衡 0 K3 _' n! Q6 b' [
7.5 异相平衡 # B3 S O6 E0 x" p% d/ H6 G
习 题 8 ~) K1 P S) Q1 e3 I
第8章 分子碰撞 6 h0 r- G, v6 N- y) {
8.1 引 言 ' ^) O* I3 E# i, }
8.2 分子结构 9 h# Y* E+ D0 k8 G/ w4 l/ U8 d
8.3 电子-分子碰撞反应, ^, F; `* d3 |2 d. d
8.4 重粒子间的碰撞
1 F) }! b" {. a( E1 Y5 e8.5 反应速率和细致平衡
% S) ] N2 [+ L+ v* V% Y3 f8.6 发射光谱法和光化线强度测定 2 H( Y5 |4 X# Z8 p& i/ x- P; I& n
习 题
& P8 G+ v6 @( E# [第9章 化学动力学与表面过程
5 z' u, n' A; l" @9 e9.1 基元反应 0 O e2 c& c' v( I T
9.2 气相动力学 ; \. t5 j+ k' j9 q% G+ z: V6 Y
9.3 表面过程 " X; F* P" o& Q% @/ ?7 m) [' x/ p
9.4 表面动力学
+ ~3 H4 P$ G2 o# e4 q习 题
' L: n# |& u4 h5 v第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡
: N. b' Y7 N) ]2 Y/ O% Z# }- z' u2 z: G10.1 引 言
; o' b. @3 x' q. Z10.2 电正性等离子体平衡态分析 3 \) _# ]8 U0 B& d5 I4 r
10.3 电负性等离子体平衡态分析 5 E' {* t/ m' g& X4 F- }
10.4 电负性等离子体的近似平衡分析 ; w6 K9 w+ K7 O/ n1 f
10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟 : ^9 W- W) v: h5 U% M
10.6 脉冲放电
0 M% \2 z' A% E; \( F. [0 V习 题 2 j. V% n9 [+ ?' z& u: q8 f
第11章 容性放电 / ^0 f4 @$ r! S9 Y9 I
11.1 均匀放电模型3 l |1 F. ? m4 |/ _! V+ e" z( {' v
11.2 非均匀放电模型
/ w) H1 x6 s3 e8 Z; Q7 ^11.3 实验与数值模拟
, X5 t: D! B, o: F# K' y0 i11.4 非对称放电
A! M! C* x% m! a% ^7 I11.5 低频时的射频鞘层
& s! ^! p* C0 N6 V! T! u H11.6 电极处的离子轰击能量
, @: O9 n9 |0 j! D11.7 磁增强的气体放电# ?: p2 d. h9 D4 U* W' j O
11.8 匹配网络和功率测量 0 B4 @, L/ s2 i n1 Q; U, m
习 题 . U& X( |" A$ E; h: B: U+ O
第12章 感性放电 2 q/ u, r/ f% I9 D( X) W0 p* x- }
12.1 高密度、低气压等离子体
" c ?$ \: e1 ?5 j* V12.2 其他工作状态0 r, q" s, Z, r( X
12.3 盘香形线圈等离子体源
0 R; D6 Y. @* h* A& F( N* G12.4 螺旋共振器放电
' L; `3 c& I0 |* G: A习 题
o7 \" @6 O0 U" w5 \, W" q% X6 c* F第13章 波加热的气体放电
3 f' K! F1 S2 e# {13.1 电子回旋共振等离子体( V, `3 b9 W- T1 q. p/ K
13.2 螺旋波放电 8 V5 d& q# c0 @' ] V
13.3 表面波放电 ' Q1 |) M3 V8 h5 k6 c
习 题
' @; j2 b" ]7 G) e9 D7 k- |第14章 直流放电 0 q; }+ |$ T; i1 M: Q
14.1 辉光放电的定性描述 0 E: @ g( Q! n
14.2 正柱区分析 3 c- k- f3 ?' U' C
14.3 阴极鞘层分析
{; T! C. L8 z1 {4 [% y14.4 中空阴极管放电 & W5 ]- I* ]$ ?; |! c& A
14.5 平面磁控放电6 Y9 Y' I, s# C8 q5 h0 }
14.6 电离物理气相沉积
' c9 f3 O1 { h9 n( G( I习 题
( V/ _! S& J* a5 R( {$ f- Z' s6 E第15章 刻 蚀
, K+ D7 _7 V" h; g6 Z15.1 刻蚀的要求和工艺过程9 l5 o, P" ]* g( b5 v* ~/ Z
15.2 刻蚀反应动力学; U ~. z) A* S- r* ]" V8 |
15.3 用卤素原子刻蚀硅
3 B/ ^- U! J; P" }+ Y/ C3 R L15.4 其他刻蚀系统 0 z4 V" r' l0 c5 U
15.5 衬底上的电荷积累
+ u& Q( [+ o t6 f. A! e习 题
$ s! v. I" g4 ~1 m: ^4 @第16章 沉积与注入" }) g) c) j! n1 R, w6 }; L! i
16.1 引 言 2 Y. }) ~# n' P- i
16.2 等离子体增强化学气相沉积
: v1 J) b" C- w* v9 d7 h' G16.3 溅射沉积
, y3 {% F2 H1 D$ }16.4 等离子体浸没离子注入(PIII): ]1 R$ C; h% R, q
习 题
) D# U! J5 Y& c& o# L1 W第17章 尘埃等离子体 4 W0 }, q. [8 q3 l) L" i
17.1 物理现象的定性描述
) B' n, `8 n: f" v9 n5 i17.2 颗粒充电和放电平衡3 {. P R. C' Z8 n6 V7 f* m
17.3 颗粒平衡
8 m# x- m4 s5 Q/ M/ g2 e17.4 尘埃颗粒的形成和生长 $ b: [; U7 p: _8 J
17.5 物理现象及其诊断2 w, ^$ V7 G, o7 ~ p
17.6 颗粒的清除或产生 : r0 P' F, d4 q! _( j* O( [
习 题 . Z( b! x- W3 ?$ ?( b, z7 o! [
第18章 气体放电的动理论 - F- w2 L* J6 A* Z
18.1 基本概念
- b* E) I6 G- J% o) n) p; n* x" M18.2 局域动理论
9 v+ n9 w/ x4 l5 r2 J: o# Z$ g18.3 非局域动理论 ! h! c' x% v( j4 h1 {3 S; ~' Z
18.4 准线性扩散和随机加热. S5 E& G4 I ?- b
18.5 在趋肤层中的能量扩散9 M9 g( s* I% X5 b
18.6 放电的动理论模型 # l9 n: ^) a2 {) L" N+ V# S
习 题
* }! _% u. J9 V( t7 {$ `( c附录A碰撞动力学 5 k5 b* S4 r4 L; {
A.1 库仑碰撞截面/ a- Z7 b0 |; B' W+ ?+ D
附录B碰撞积分 + ^0 t l6 i' {) [ Z' J
B.1 玻尔兹曼碰撞积分
: g, P; r s- p, C @B.2 平衡态下的麦克斯韦分布
p2 w0 Q# f9 T5 d附录C变迁移率模型中的扩散方程的解/ W9 G" R6 Y+ C) ^ T3 F0 k
参考文献 |
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