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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理
2 W" ^- d: Y% P- ^' I0 P. Q1 J
* A/ H+ T3 ~* l! X2 W内容简介
" D* J3 P0 h; ^2 z4 A 本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
8 ?$ L$ h% `) }: T) Q! Q: Y8 C 本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。
% m& e; c8 I# u& b+ J* B8 D0 j- K( W' p) k2 \
本书目录" z* E6 t+ N5 X
第1章 概 述
. y6 N, Y! t2 ^7 t1 x" c1.1 材料处理 1 f& R' b4 h+ x* t, S) W3 T: w
1.2 等离子体和鞘层 2 ?( a1 C* c5 M& [9 S3 o6 _: H
1.3 放 电 7 }4 Y& m: ^( B. q
1.4 符号和单位
! m- O3 `& G% ]3 S第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质 * s; x* D, @8 y( @
2.1 引 言 0 q, P% u7 |% H9 f
2.2 场方程、电流和电压
% K! `( K( b2 w: \( _9 z2.3 守恒方程
. h, x% i4 m/ ~+ b2.4 平衡态性质 ! m4 r" J( Z# T7 G
习 题 1 d2 ~2 Q. t; q: f5 T- v! M" T2 _
第3章 原子碰撞
- G1 z6 h, K3 b; R4 d0 g3.1 基本概念
/ G( d$ @7 T0 b5 @# |3.2 碰撞动力学 ) W5 D& w4 C6 U; t6 M$ ?
3.3 弹性散射
- X& x3 q- n$ l3 V. W: e0 G3.4 非弹性碰撞 3 B) C. w1 z% Z6 H2 v, U$ I
3.5 求分布函数下的平均值和表面效应 ! U( H8 \0 G6 W: s
习 题
3 @4 q, m0 G0 f% z/ p k/ Q! Y! ?% u第4章 等离子体动力学
4 }' _6 R4 o1 q* ?0 L4.1 基本运动7 Y8 \: p6 m& i2 |5 q, R, X" F
4.2 非磁化等离子体动力学
- o1 C$ }* Q4 H- n& ]: r! V4.3 导向中心运动 / P( C- F7 q; d
4.4 磁化等离子体动力学
/ M5 u% M5 n& ^; F( j4.5 磁化等离子体中的波
0 X. K4 t3 T5 W4.6 波诊断* h' C0 {. F& g$ v4 O
习 题 , {+ w- u5 F: o5 D4 h& }" _$ w- @
第5章 扩散和输运 7 C" v& {) E5 ^" G
5.1 基本关系式 ) d* D7 S: _9 m( {8 G
5.2 扩散方程的解
9 d! }+ Z. n1 s( X5.3 低气压解 7 @# _. I! [6 |) ~* g# l
5.4 在磁场中的扩散过程
; K* f' ~ f7 c0 |5.5 磁多极约束: j1 E9 w- C6 ~" M1 Y s6 @
习 题
# }* M+ K0 E, r& R0 b. h第6章 直流鞘层
0 M" `6 ` N6 ]6.1 基本概念和方程 / l3 U/ M! C' a4 O0 Y. G* i, z/ e
6.2 玻姆鞘层判据 6 |7 @/ K; r$ g# S& n( R: X/ y
6.3 高电压鞘层
) ?" G8 e' c& l+ a6.4 鞘层形成的广义判据 % C1 V+ K" v3 _% s5 I2 s1 U
6.5 高电压碰撞鞘层
+ U6 s: F. Q/ g% l0 n: g2 [( j6.6 静电探针诊断8 m; c9 f. j# Q2 [0 S
习 题 & u! v& q j3 V4 B1 W; o
第7章 化学反应和平衡
# Y2 P b0 U6 p- q' } O+ v7.1 引 言 9 T7 V2 ?. v$ s8 j; F, W
7.2 能量和焓 * B( K, e* w0 P6 H- N
7.3 熵和吉布斯自由能
- H' z% u# J. S2 U7.4 化学平衡
2 `- s' d7 P. K! `7.5 异相平衡 : G N$ @- j3 h* K
习 题 : O/ O9 G- v! X, Q" d$ d
第8章 分子碰撞 7 e1 s! O, G7 X/ A6 V
8.1 引 言
% |- @4 ~# p8 L3 r2 X( Y8 P8.2 分子结构
2 P4 m4 e+ e' R# D8.3 电子-分子碰撞反应
2 w+ r/ Q# o, C/ \# w1 ~" z8.4 重粒子间的碰撞
4 P% X3 b8 U( T F0 q" K% E. A8.5 反应速率和细致平衡
9 D7 e( I+ F3 H! h8.6 发射光谱法和光化线强度测定
! S7 S1 u/ x0 e. F4 k& w2 |习 题
$ _ D% e6 K' t9 c: r第9章 化学动力学与表面过程
/ p! I2 I) ^, ?4 j L4 ]* E9.1 基元反应 ( Z6 }( x4 @# A( f# X
9.2 气相动力学
8 d. m# \- {7 I9.3 表面过程
. x ~) f' \! j3 s( ~% x; J# j9.4 表面动力学 ' R5 f( y- s! h- ~2 T( V+ F
习 题 . ?+ C& I# i8 y2 H9 [7 `
第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡
8 Q# \6 d( ]( |5 t6 N. P& T* e10.1 引 言
- B* Z7 G v2 n* T0 E" x+ j10.2 电正性等离子体平衡态分析 0 O& [+ w! B! m o- F
10.3 电负性等离子体平衡态分析
: W Q9 p: w8 J) E% L4 j+ K10.4 电负性等离子体的近似平衡分析
- ^$ ?% c. X( v5 X- S% m( i0 s10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟 5 J$ c- u! g: N: q! u
10.6 脉冲放电 6 G9 v* p/ K1 X8 U0 J& s; l
习 题 $ X; |1 [5 Z& n/ ]
第11章 容性放电
" k) H& d$ `- N$ o5 M/ S7 t11.1 均匀放电模型
/ X& i L& o) @3 r11.2 非均匀放电模型 : a8 o' H2 `! E" Y( M: {" I( I
11.3 实验与数值模拟
# f! i; M9 M( g11.4 非对称放电
: I& c3 q2 F. P E- o: @6 y; P11.5 低频时的射频鞘层
6 l/ n1 a8 n8 Z2 u) W11.6 电极处的离子轰击能量3 }8 m6 H8 d8 b8 v6 l$ B! i
11.7 磁增强的气体放电+ M6 j* |+ y: G8 {
11.8 匹配网络和功率测量 7 h- n0 N; ]3 s P# w! P3 h
习 题 # D: K# G8 i$ Z* ]: x/ B; c
第12章 感性放电 - T0 d' L2 b2 c" ^8 R2 p O
12.1 高密度、低气压等离子体
$ @3 ~9 R2 D, }' ?12.2 其他工作状态
7 b8 J/ `* m. K. g% _! o12.3 盘香形线圈等离子体源 ) h5 ?2 Q6 C) M" Z: W: @: p# Z1 _
12.4 螺旋共振器放电 2 b5 I( p% v3 T5 ~
习 题 4 N2 D) K2 g: B3 |; @, O( J4 O
第13章 波加热的气体放电 2 o1 o5 T/ x$ G7 Q# c
13.1 电子回旋共振等离子体+ l8 H, D$ e! Y; X4 p: O
13.2 螺旋波放电 - H6 Z& n" ~8 s0 _+ j& q
13.3 表面波放电 0 I6 R6 r! ^+ j4 S) A, y* t
习 题
( w# R8 y% F* \7 [第14章 直流放电 9 V+ n% w+ c1 i
14.1 辉光放电的定性描述
+ A1 G/ G) B: s G) N14.2 正柱区分析
: ~- V4 A# g5 b4 ` _14.3 阴极鞘层分析
+ T2 k, @) Y' I. r' R8 B( V14.4 中空阴极管放电
6 w- B% Q, a6 `14.5 平面磁控放电1 i! k6 [9 z$ j3 ?
14.6 电离物理气相沉积
$ l& v( |' r4 d习 题 5 }/ s9 L3 ?+ |1 J
第15章 刻 蚀 9 K1 j! D+ @* o/ d) H, R$ b! \' t
15.1 刻蚀的要求和工艺过程4 d9 J6 f8 t2 {
15.2 刻蚀反应动力学9 @) g* |# T% N# J$ D
15.3 用卤素原子刻蚀硅: b7 Y) R4 U. u( U9 h3 G( Z/ ?: c
15.4 其他刻蚀系统
9 ~9 L+ K3 k" X+ v' O0 L* h15.5 衬底上的电荷积累
0 _( g& s' w* D% W1 q$ [8 t习 题 $ X& e5 j x5 v2 e
第16章 沉积与注入1 n/ n- ?% [. P& [( i" c
16.1 引 言
4 g$ l, S* j5 ]5 R( `16.2 等离子体增强化学气相沉积 1 b2 N4 U) y3 {
16.3 溅射沉积 - a8 p8 J( e* s X+ m* \0 |
16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)
" X6 P$ v$ f6 k n习 题 " }; G. v" w: { O( I3 ~! M7 f
第17章 尘埃等离子体
+ z5 g! A3 a1 P2 `$ i17.1 物理现象的定性描述
: U0 B# O( n: D2 \" f6 Y0 M- |" o17.2 颗粒充电和放电平衡
1 _( n: F. \1 l3 G# j) Z G17.3 颗粒平衡
) _ Y0 J7 x9 |. J( y17.4 尘埃颗粒的形成和生长
M# F' r# \, I% z% B; Q9 x17.5 物理现象及其诊断
/ g3 g, E5 ^1 K0 ~2 J: w17.6 颗粒的清除或产生
4 r2 {- w: w5 o习 题
1 e" D0 e7 s) P- S3 Z5 ~第18章 气体放电的动理论
6 `0 z0 e+ E# T* ]2 K9 l' c18.1 基本概念 & O+ |3 r7 G4 Q, K$ }9 `" D8 W
18.2 局域动理论 + W- J' o% p& ~9 O; I% `# v
18.3 非局域动理论 . k: k& ]0 i2 `4 t) j
18.4 准线性扩散和随机加热8 n! u, V# P. G1 x* h% i, _% c
18.5 在趋肤层中的能量扩散9 i/ @6 i4 m. \" C3 w% s, h
18.6 放电的动理论模型
, l* i3 z. R8 k2 c习 题
1 H- X3 g# s; e4 p4 q* m9 h$ R附录A碰撞动力学
5 V; q. ~' m$ X. b* G+ I3 h" KA.1 库仑碰撞截面' ?! q$ F6 f( s9 [/ z( j6 T
附录B碰撞积分
+ I4 q, X7 @; V" c# {. f: VB.1 玻尔兹曼碰撞积分& c- D- c; g, j" ]1 H4 r4 k0 e
B.2 平衡态下的麦克斯韦分布
% r* p9 Z5 Y3 k \+ D1 k) u/ P, ^. J! n附录C变迁移率模型中的扩散方程的解2 O$ O2 H& F9 n' E! E
参考文献 |
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