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等离子体有机聚合覆膜反应装置与应用
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; a& r9 ^! l0 H( e- u G/ Z王宏[1,2] 李来风[1] 黄传军[1] 时东陆[3]
4 f% H2 x2 X- t. \. X* U5 r/ ][1]中国科学院理化技术研究所,北京100080 - H7 j3 }5 L, L6 T/ S3 \
[2]遵义师范学院物理系,遵义563002 $ r1 {* M, Q+ Q Z U" }+ r( \( e
[3]俄亥俄州立辛辛那提大学,美国45221
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* R) a( p4 p4 G& e2 V7 c【来 源】《核聚变与等离子体物理》2007年27卷2期; L2 X. a5 W5 @+ ?% E
【摘 要】简述了当今倍受关注的等离子体聚合薄膜技术和各种等离子体纳米聚合反应装置,讨论了各种纳米材料如氧化锌(ZnO)、碳纳米管(CNT)、碳纳米纤维(CNF)等离子体表面改性结果。
0 a B& z: C, ~! d【关键词】等离子体聚合 反应装置 纳米材料 表面改性 |
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