干式泵常识

清风明月

干式泵常识
Q：什么是涡旋干式真空泵？
A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。
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Q：涡旋干式真空泵的特点？
) h% r& L( r4 g- s8 M2 a1 [A：◇无油、无污染
' e7 Y( a7 f, R  m     ◇低噪音、低振动
  E/ n+ w3 I* k0 F) H6 @6 g     ◇使用寿命长
# k2 q- d) |: d% W6 c) }     ◇空气冷却
     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体
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* @# B' t0 b5 A3 P$ L, DQ：涡旋干式真空泵的主要用途？
7 B% H! D' N  c# ^' y0 Q3 UA：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
     ◇用于液晶注入系统；
     ◇分子泵真空系统的前级泵；
     ◇真空密封泵；
     ◇冷泵前级；
     ◇用于科学和化学分析仪器；
4 L' A( T6 ]0 y6 y0 s     ◇真空发生器；
     ◇电子显微镜前级泵。

Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
9 m7 e& }! g$ P8 u, kA：
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项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A " T- n6 f& q( c 单相100/200V(±10%) " _+ V4 U9 e4 U: G+ p8 L8 v50/60Hz(±2Hz) ≥10A ( k) _% p6 ~6 D7 c3 m, O 三相220V(±10%) 50Hz(±2Hz) ≥10A
电机速度	1425 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz） 5 X9 O' n- N2 y, z 1430 rpm（50 Hz）   j+ p, h/ n- a* ?1710 rpm（60 Hz）
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？
- v# f/ Q. h, ~5 O' X; g. q( IA：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇检查确定此真空泵安全接地。
   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
! E6 P) P0 G' R0 [0 Y* [) G   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
   ◇必须安装电机保护开关。
6 r1 R5 {9 j. o2 J: |. _' KDVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
. |# Q7 G# u: A9 G   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
6 D0 d4 \2 v% a   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
( C& F4 d# C1 S0 \如果真空度上不去，更换法兰。
' z1 m* m+ A$ J& p9 d1 p   ◇在进气口处装真空阀。
# p0 U+ a8 Z" Y5 Q真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。
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Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
8 |1 s; Y% s' \5 G/ {; R- wA：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
* O- @. s/ G3 T9 F   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
( n* d5 Y, C' R3 l; ^9 U此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
% u9 G" f9 F/ i8 M7 }   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
2 ]1 y+ l- `$ z3 ~   ◇加滤网
1 |8 I6 e5 `3 C6 x使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
   ◇定期检查
3 e2 R4 r5 U( {1 m为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
   ◇供气
) y: I, m4 k7 z5 u8 f要保证加适量的气体使泵高效率工作。
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7 H* M4 F) V+ s& B) N" uQ：涡旋干式真空泵安装地点要求？
A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
' s  @+ `, A( d! a" B5 B7 q& I   ①平面放置
# U: i8 M3 m1 b' T2 H8 X   ②避免阳光直射
   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
   ④通风良好
% I' _3 y5 ^* p- z   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
8 X$ X3 y& E& o: C   ⑥防潮
3 K) r6 k% {6 I/ \   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

' g: M4 V) ?3 WQ：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
6 i& l; K% y& K( V! a. X: T8 HA：◇检查确认此泵电源接地良好。
   ◇检查确认此泵电源为要求值。
   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。
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- O- Y( W- k2 R  UQ：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
  A* K, E+ P, H- RA：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
4 P. e. K( C3 {7 n3 @   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
% l) I! N5 a  ?1 Z   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。

Q：涡旋干式真空泵排气注意事项？
7 _3 U5 [9 U- @0 mA：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
. y' A8 {: q6 u7 L, n& C2 m! Y   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
3 u/ a: z1 y* A2 n以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
0 W$ H4 T( G' A: ^  @4 a) f   ◇在进气口装进气阀
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
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Q：涡旋干式真空泵联结方式？
A：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
   ②真空管道一定不能有泄漏处。
' b! M) B% `+ B2 O4 |# L   ③检查确定管道无排气压力。
5 u) s2 Z9 p& t( ?( Y   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。
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Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
$ |6 W4 x3 y' ?9 b  s( X2 y   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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Q：涡旋干式真空泵开机注意事项？
2 X' ?" [" Q1 K% x" S8 z( x6 wA：①检查确认电源符合要求。
0 c+ O. c. k. j$ J* x& Y% A   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。

Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
8 b! y4 A9 v  ?0 P9 w2 \2 _) O" {A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。

- i! `. S9 {8 k% ~Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
A：①加气镇阀时，一定要加滤网。
* E. Q7 s! G, Y3 c   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
& C5 T$ z2 |/ @# R8 u6 ^   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。
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$ B) [: e* P: [( ~; cQ：涡旋干式真空泵关机注意事项？
A：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
! E& X) e7 O# ^7 @6 Q6 d- l: I; LA：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
4 L$ m1 b# c! V4 A, T   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。

/ E; H" s: Q% k0 ?2 u# A/ ]5 L( HQ：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
A：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：
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部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

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: R1 c: P% r2 r4 T% qQ：涡旋干式真空泵故障排除？
) q* k1 }5 d* \( i5 VA：
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故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理