真空常用的名词术语

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1、真空的定义
　
& V5 M7 T2 k! J$ g) |+ S& B" R. Y0 r　　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

/ E' L& F& B: \3 r" Z) C8 }　　2、真空度
5 b6 ~+ w) R) n$ ]8 v* X- R/ a) e
/ @2 t7 A! S$ a  H) f: Q1 `　　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

! a0 f/ m, ?5 t+ S/ q7 w7 R　　3、真空度单位
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% l4 A- G; |) j- E/ W' D$ X5 k0 `　　通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱

　　4、托与帕的转换
5 D" F1 N  X6 D) r3 s( o: d- r
　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托

. G+ \, F  [) R　　5、平均自由程

　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
: L: V# `, D+ R/ C
　　6、流量
2 g+ e1 A, R6 X
　　单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
" U. @( N& l1 `$ H3 W
2 x6 z5 Y8 D# y2 c　　7、流导

$ M& Y  ?) G0 q　　表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)

　　8、压力或压强

气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

　　9、标准大气压

6 t0 o& @9 Q; V* y( v! F9 f　　压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

　　10、极限真空

, n7 j# u, }9 \6 M' V* }2 ^' W2 [　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。

. j; Q. `$ d4 u4 P( Y/ h$ J' d' j　　11、抽气速率

　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

1 [1 z1 P4 f( F$ |6 Z　　12、热偶真空计
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, O& I! t2 i- Q; p$ o" `　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

4 a2 K0 _; I! q0 s, v, t2 z　　13、电离真空计（又收热阴极电离计）
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　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
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4 ]& T9 ]- n- [  @3 j" A! c　　14、复合真空计
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　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。

; T( ^7 Z  K5 ?5 e) }) l" C　　15、冷阴极电离计

5 d. B+ D  E/ p　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。