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发表于 2008-10-22 18:56:09
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来自： 中国湖南株洲
补充介绍：
, K0 l. B2 A' S0 F0 n
. g6 L9 A6 T6 s) ^NEBB-----无尘室测试规范* `& y2 a' p; |* u: O: w4 l
, K% Z/ ]( ]% }+ S2 b, B
测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。- p! P# q) W1 x f) Y/ u
一、无尘室测试规范
i# ^2 U- F% F; X9 L! h% E% M% J, h有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。* e8 E3 Y* @, h8 Y$ x( e
- Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
- ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
- JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
- VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
- Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。
( r4 M& @3 f3 r! `: i' j3 z- W) C- IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
- NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
- ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。
! Q2 C! h! ^6 n二、无尘室常用名词 ' _1 x8 W n3 }, A7 d. @+ x7 a
- 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
- 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
- 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
- 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
- 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
- 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
- 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
- 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
- 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
- As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
- At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
- Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义
4 q0 s) w# E- o无尘室的等级 8 p$ n* |; ?9 C2 ~
使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下：
) v4 }( B6 H' ~( A% g9 A4 C' lClass X (at Y μm ) + z- V$ W# j6 i4 n% p1 [' c
其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：6 W& L% C; H( @5 @
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
; e2 ^6 [8 L/ K6 \' f; lClass 100(0.2μm , 0.5μm )
/ c4 ^3 _3 m! n6 [8 fClass 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
0 y1 W' q8 a7 j' i6 _# V1 x) J在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。0 E0 ?9 K# s9 H$ H
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：3 j4 `9 q2 \% E( h6 r, P6 A# ~
Class X (at Y μm )， At-rest
7 M' N! u5 G1 w# G+ j, v# \供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。
8 P2 I! Q2 q/ ]+ A- P, y第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
: v- ]3 [2 b3 e% @; p/ oClass 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built
: y: ]( R1 d# }6 ^) E6 \Class 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built 9 h4 u) t$ k6 H( M" O
这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。
& g& y H. |/ ^- u以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
! A/ V" O: v, P+ Q; e4 H# i/ s) O # v7 i5 k& C& u+ E
+ ~' H i. d- @9 S
Class Name
) C5 j. u$ `4 p5 ~# B. H! O# x( W) X4 D) d+ c; W
, m- d: | [! q8 f) V5 `+ A
7 L8 b; b- w k+ ]" j1 i
| Class Limits ! A- [+ v* N/ Y# L- D
| 0.1μm
/ g' r2 ~: [0 T9 m" P | 0.2μm
) t- n- e/ ^( v3 T | 0.3μm
( F0 g/ [8 K' I5 m( v: w" N | 0.5μm $ ^: K3 B' Q' A; d9 b
| 5μm
$ U( o" N$ M* ?4 B | Volume Units ) k: `: q! r- M
| Volume Units
& d+ n8 w: v9 R) v$ T/ P | Volume Units & @: Q( H9 p' |! x! a
| Volume Units 1 [- \- c# ]5 I
| Volume Units 5 r3 W% ^+ ~4 |9 p8 Z& r4 q
| SI 3 U, K0 W) Q( `. s! f9 O
| U.S.
( J }5 V& J: f' X9 Z! y& @+ I | (m3)
' B v( K( a1 T: T | (ft3) : g1 A, H$ v* m) Y
| (m3)
% {( `5 c. D, a! H6 V6 Z% w | (ft3)
" l; W$ W4 B7 B z9 a3 P | (m3) 0 X: q. z2 s5 r$ C
| (ft3)
+ T P* T& Y0 x" R* b* x- K | (m3)
% ~: R1 z( S5 C) ~, ] | (ft3)
1 i5 N& b7 K$ J" N) q& ~ | (m3)
' Q+ r8 f: ]- R8 ? | (ft3)
4 W+ s) f1 M! T0 o | M 1 ; v! ~& F1 B4 N
|
4 Q9 P4 U& m4 v$ \ u5 C
A$ E$ H* R( j @* k6 h3 f1 e
| 350 ) K8 K" ^9 |1 S0 U* W/ ~& m( ?9 l' K
| 9.91
/ f% q# |4 M1 P" x4 r* J: K! B | 75.7 / @7 ]" \$ `# k$ U$ W& d, A
| 2.14 ( Q# t- i* t0 S) a4 [( w
| 30.9
& P$ a7 ~+ l" W: S' n | 0.875
2 A6 |+ J" W. |. K! A# M+ `* y" o | 10.0
/ ~2 P+ o: b% \' B7 n | 0.283
2 P1 Y$ r' c z+ x | - # _$ y: |; [/ T$ g
| - ! i; r, `$ q) t, \1 b: d
| M 1.5 " N3 [, E$ a+ U7 Q9 Y
| 1 ( N, O, Z, S! U
| 1,240 7 z2 L' x8 O, }# z$ v7 |' O7 u
| 35.0 o5 L: b0 m$ m2 l& A7 g
| 265 ) x# O9 b) c/ X8 H7 o) \
| 7.50
3 B6 d/ t9 w) k5 U2 |9 H( f1 P | 106 5 q" I% d f5 {) G |
| 3.00 U( X* g ]& z& M% ]
| 35.3
4 k5 j$ s6 M1 j3 X: T7 p | 1.00 5 k+ D0 g/ }+ f- e. l7 [# a3 [
| -
! L" n+ K# `* Z# h. o2 q3 R | -
9 P. K3 z: c" z | M 2
( o0 U- U: \- s9 } | 0 A% u: k" `, K
3 V5 h6 n0 \" V' z2 L# m) z* B0 t! O | 3,500
) X( b# B$ ^7 N | 99.1 1 J% L6 G2 K, K5 p3 X
| 757
; M: P4 Z1 y- d( l* e | 21.4 $ p1 Z0 N) N$ T
| 309
! p |, k. y- p6 ` p* P | 8.75
) m, n5 W% s4 A r! }; \: e4 h7 | | 100
- r9 c' m" Z7 z1 B% ~7 d | 2.83
* x; X# E) E( S7 E5 ^ | -
) D: `0 f9 g" {2 N8 T: n/ o | - 1 T) _6 O" L4 C! q1 y2 f. e" L- C
| M 2.5 8 m& E* s4 v4 C. R l& M$ g
| 10 ) ?& r& R Z+ ]& H0 U4 T, z
| 12,400
7 c8 D m/ Z- l3 q! ^ | 350 7 }' j- b& h# i; ~- T$ l- B, s- S
| 2,650 " a' X& C4 ], c, _; Z
| 75.0
3 w0 A' Q, a5 D | 1,060
- g& r8 X3 i. x# U | 30.0
) Q. ~( b+ d+ z( f6 i. Y4 ? | 353 1 ~! ], B+ K# r* D
| 10.0
" |: i) f1 O% x$ U& x | - . [) S. y# Y+ f
| -
$ p1 t4 N7 a2 b | M 3 ! E- D( T4 I! C: j
|
6 T% C. S, B% ]5 \* a M
5 [- F! `8 H, v7 \. H6 M
| 35,000
! U# l, H- z5 l1 {' M | 991
2 c/ c" I+ H4 h, D | 7,570
0 _" j8 W. r8 j7 O7 l! r. y | 214
# H2 L) f. B" ~5 @" l9 `. W | 3,090
, `% N! j1 t/ P& z | 87.5
' x H$ b5 Z! x" x; | | 1,000
; W% o4 q! A$ i' Q( H | 28.3 $ Q5 N' Q8 {. ^6 C: F! t
| -
) m% v' E1 E) d | -
: u, F+ M2 D; b. Q! k, t% w | M 3.5 3 y5 E5 h7 y( a" F; f5 n
| 100 / s! m( l: f& g
| - 2 }* G; S9 l) w! ?: V& j
| - 9 J2 j! ^1 X0 h( l! i
| 26,500
4 }, ^0 O5 {' ]& o) F | 750 7 q# D. d6 i6 T3 Y) r
| 10,600 0 U* f9 I y: I
| 300
9 p( z ]5 H- F$ L4 Y4 w5 ?4 s7 N | 3,530 4 }$ Y3 U1 y$ I2 W3 [5 e
| 100 ) Y4 V; I0 n6 l% U/ N( N
| -
7 V1 i6 d) d9 f* J. ` | -
) V% z" |5 R) I+ f$ z1 Z | M 4 p. X. o4 i8 F* M$ q
|
# i8 K0 a; O* M$ V' h
* Y$ }) @6 d4 o& i
| -
; k7 ]3 V: I3 {) R9 F# ]" p' a | -
6 e( }( j, Y# y9 \$ _. P$ F | 75,700 , H3 g$ I! ^. n* O
| 2140
4 \/ A+ S/ S! ^6 W& e | 30,900 & p6 }- \- u4 g% F) I4 P, L
| 875
+ l6 }5 R# |( ?4 c1 V | 10,000
/ f5 m- S$ E) A | 283
) r. W) R E" i3 g | - * x* f0 \, c) V0 y) s- U9 s$ ^
| -
1 N# G' E4 G* B | M 4.5
; F8 o0 c" Z( N4 I4 r2 u+ _ | 1,000
. x4 ^% i/ Y8 x! C+ }9 A | - 2 z+ w: e. |9 H. T6 f/ K8 M5 j! t8 r! [
| -
9 j2 w3 i6 r' {* r& L | - : ]9 Z" Z$ G1 k/ c5 F
| - , T% {. }/ P+ h! [& Z$ _) Z% Q
| - ! K# Q8 T ~+ c( Z: I+ ^+ N l
| -
) l1 v5 e8 r, k2 n. n | 35,300 6 l8 C* u: i( D6 \* N
| 1,000 . {9 u! r5 f- ?8 Q! e
| 247 3 h& z8 f1 s% I% y$ k2 h3 N
| 7.00 1 D! s! y& Y5 |+ g6 C8 J
| M 5
# p% d# w$ |6 a | # [: a( U1 b* ^2 y( O/ n& M/ |
( J# o1 X4 y& I2 n
| -
( w( ` a# b8 r3 r7 C: b' x | - . v% r0 ^' s6 E) A5 m( a x
| -
* Y7 c8 F- K9 [" \0 Z) `: a | - 1 W" m, C) ]' ?6 _
| - 5 K& e* G0 r" ~' Q- `
| - " g" u5 f; w0 e& D z
| 100,000 " m1 Q; q$ p6 t2 t5 ?6 y
| 2,830 1 V, l; x/ f" S3 h* [& h% z- @! ~
| 618
6 n" D1 c Q( S5 W | 17.5
5 g1 U8 p! B& x5 |/ d& ] | M 5.5
6 x. L3 {6 l; x( C | 10,000 % N$ Z( t) q* F' K
| -
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| - 7 B M8 G, c: Y
| -
4 ]2 _& R1 t; e, A' _ | - : T1 G J' O1 F6 a4 t& P% I V
| - 0 W, C6 t! V% C( p' P- ^
| 353,000 ' q8 s* |. a2 n' c: H
| 10,000 / G1 X6 x! k1 B0 `/ ~2 p: ]3 D
| 2,470
& S( `) A% m, p | 70.0
+ q1 z* V: G6 J5 \2 ^2 r7 W$ n# H a | M 6 ( W b+ x, M G0 @/ v
| ; q# |. u" Z# B3 I* {. v/ G
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| -
@0 `$ ?+ C# r2 m0 { | -
- G8 s P# Z+ O# Z5 ?3 Q | - ; ~# M8 p8 f$ Q" \
| -
5 C5 I2 D* u% W1 ]% R2 L | -
( ~3 G) u% Q) l; L9 P% c/ r | - 3 p8 P" r x4 A/ y9 v. N
| 1,000,000 , L! Q5 X, y5 M0 N: _9 s3 w9 L
| 28,300
* y8 M$ z7 e) ~1 ]! b/ @ | 6,180
; S% F$ {" _% A3 c8 W+ X2 n/ @9 m, z | 175 & {8 C p; E& L; a5 G& g
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( I, [' a8 {/ f: Q9 ^. i, c1 B | - ) b; |, M9 j1 w
| - 4 R5 }7 P: m: U4 v; |" L% z
| -
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| -
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| 100,000
- z7 P9 P( U8 h- ^' n | 24,700
5 X5 N7 P# g( ~* K" c( g | 700
+ b4 ~( n$ P: K# _; L/ q | M 7 % c+ y# u6 k" T+ ~0 d/ k* k6 f# n
|
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! d# D, _0 p. T* A' s4 ~) x
| - : X4 r$ ~5 L9 W
| - * R u y2 [: l3 J/ h3 l G; g
| - & ?! ?" _ R9 t$ A
| -
/ S9 D# U/ f1 L/ R7 T4 _- E | - . |/ f0 N2 z5 z
| -
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| 283,000 ( Y' D, ~8 V' W R1 D* Z5 n
| 61,800
7 H1 \9 y: h- x" A# C* v9 C& Y | 1,750 / L/ W) B5 ?5 b
|
5 |- X' O5 D$ P0 H% F& `$ P* V9 i; m4 t1 U- V1 U( X1 J8 a, w7 Q; l
Fed-Std-209E 洁净度定义 ISO classification number(N)
% [( d) B& `! W- ~8 t0 }2 ]# M | Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).
8 G1 F% ?% U* d# c M- A | 0.1 mm 2 h* }2 j n% v: A4 @2 u
| 0.2 mm * N/ G( \4 V1 F* ?' I5 Y
| 0.3 mm
" W9 v- `9 T$ \8 P! d+ ~ | 0.5 mm & E! z8 E. j- T
| 1 mm
0 {4 D& J7 X0 d3 l3 Z- `1 z3 F | 5 mm $ `, D; G+ M6 r; k3 A! o2 w
| ISO Class 1
, ~: E9 |; K6 a' W8 _+ j" u* g/ T | 10
* g) [- N# P9 T7 _# ^: D | 2 5 q9 G; M X0 n0 S/ I1 P
|
; A8 ^$ L7 w9 Z% t2 _' A% e5 T | ( a3 O5 G- T6 T" p& U! l \4 d
|
* ~7 L" o5 c3 E$ i& D% }; r5 \ |
0 B2 ?% P, ?' r" b0 j# {% r; R: @6 V | ISO Class 2
) W/ n0 c9 v) _. t0 A | 100 # }% N+ u6 D" j0 L c
| 24
: v# {. f: T+ C | 10
/ p5 a! Y2 W9 i | 4 u: q7 v; _. c; \) _& c
|
7 B0 l4 V2 ^2 Q, J8 }$ F) t* \9 R |
/ c u7 y. p# _* R5 D9 \ | ISO Class 3
$ U6 O! z& ^3 K9 d. g: w2 l | 1 000 ( i" f6 K" E1 Y$ |# i/ |& N1 E9 j9 {
| 237 $ m6 J0 a' U1 B- \2 D
| 102
7 I. Z. F$ O2 A( q( j | 35
+ W6 R. a2 S# k$ B; Z7 K | 8 # O+ x5 ]9 O. W
| : p6 w0 v& Q4 a; x1 e- O7 U" {
| ISO Class 4 9 L: ]( l v8 U8 H. q
| 10 000
. w' y, F* j8 f6 _0 b$ v | 2 370
! S5 P' e* f$ g# Q/ d% Z; Q | 1 020 / c4 ^ C( x& ^
| 352 ! |$ i* ^2 Y7 I9 U% i
| 83 ; @& ^; X9 c% ~# W' {& \
| * P1 f0 L$ o9 l$ g0 `
| ISO Class 5 $ ]; }( v4 m, U
| 100 000
! d9 c# `) \) ], ?: a1 x | 23 700 . {- h; H9 l4 d- w
| 10 200 6 p( n) t* Z9 u9 R2 p
| 3 520
8 \) u2 Z2 k0 [/ u8 e( ~: O" I7 [ | 832
; a8 I- V/ S, e2 E0 v- L3 [ | 29
! j2 g, v) f) p: S | ISO Class 6 . @: F: R% ?8 G* K6 @
| 1 000 000 $ ^) M8 U, w' Q- o& i
| 237 000 * M& y! {* t* ?8 t; z# A
| 102 000 0 L" {3 Q, P) L9 H v
| 35 200 * O2 {' M; H. V1 p g; {7 P8 P
| 8 320 ! B6 V! P. y W: ~; H% }; l3 @
| 293 4 R4 f& a; R( L# V& N+ {+ @
| ISO Class 7 0 e* ~7 f, ?- |4 p
|
8 u$ p: X6 H- B. R# Z! p | * L& w# n/ X; C2 x7 `, G
|
" E1 t, F6 d5 I9 L4 R0 M& y! ^ | 352 000
# x$ U" [* [( H! @; c | 83 200 1 |: M( J0 _% f2 R2 H) K! m
| 2 930 8 H j" G) @: c/ F0 [' {5 A& @
| ISO Class 8
9 n2 f5 }, }' K | 7 L8 t; b: {! S# Z3 m
|
; B B% ]; ^, e! O, P3 M) R |
! p+ D8 @3 N1 _- @) D. g | 3 520 000 6 Q- a9 y% G; [8 ^
| 832 000 5 q! X, N$ S: ]1 a
| 29 300
5 F x7 q4 Z1 v+ {3 J2 G | ISO Class 9 " S7 _6 ~: n& |1 U
|
( x2 t" K, J. T( Q7 | |
" U- ]5 f8 i" ^9 m: A |
' W2 m1 _* [0 D" w, y1 d7 \5 C6 P | 35 200 000 % m5 H4 \: T7 @7 ] g. B) {3 j' E
| 8 320 000
6 w( {8 ?- q8 J | 293 000 6 ` W* ^ R4 r% O# q
| NOTE0 a8 e( @, n) n! T4 V! D
Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.
$ B( ~( w6 z$ G5 c4 J7 f Z; `( \- B6 \
Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径
, J3 \' x: g# a* m9 b: `; P9 E% z1 b2 t) N% L3 ~5 r
# _2 \- F; f3 C+ e7 R s
|
' P5 g- _3 [" Y, ]" m) t; [, k1 i 3 J+ ~6 L X& N+ k3 g& X
ISO-14644 洁净度定义 / W" U+ m \, U, v0 Z
5 B! U1 x' i5 f8 h# Y9 x" \
- g6 N4 |1 Z0 O& C
比较以上两表我们可看出
& z5 G, M9 f# W- 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
- 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
- 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性
四、无尘室测试范围 " g( R0 w0 r$ }9 F
凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。
& w3 u, ] D* ^' `6 A ~( G. P- 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
- 测试的目的
- 测试程序
- 使用仪器
- 测试报告撰写方式与内容
- 工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。2 f2 i# |% T& o+ k3 }! A8 g
IEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。
8 V1 Z& Z5 w. q* M) t, Y# \: K& iIEST-RP-CC006.2 Table 1
1 P8 D( Z) w9 `0 P3 k+ Q$ w , H! w& V; j7 S7 b4 `: i2 U
章节
5 j% A" o" ~, M. ? V& h* l | 测试项目3 V3 d! x3 H. G
| 单一流向型
) D% j+ k0 Z4 E/ S | 非单一流向型
' _1 A' n* m/ l: {; W8 u+ X4 C | 混合型
1 l: d" z- F* ^0 n( R6 @, M | 6.1 ) c6 i, s0 m8 ~ V+ q8 ^" R
| 风量与均匀度& X" s4 u# ~- b, i9 U
风速与均匀度
) R" S* C! G0 ]0 |4 ^: T0 e | 1,2,3
`$ o2 v4 ^/ m+ |* }1 o- V1,2,3 3 W* m0 t7 Z! b% F6 F
| 1,2,3
2 H6 Z& C& t) vOPT
a9 K) `' t8 R2 h$ A | 1,2,3
, \, z, c8 l* O- D+ H/ u; ZOPT 0 A6 V1 \$ h9 ]* R- q' Y3 E2 u
| 6.2 : @ B9 `" \1 s+ @' a) B* _( t
| 滤网泄漏 6 o& O* Q7 t7 I, e
| 1,2
# z4 l8 m! R0 T4 y3 C! A | 1,2
- o3 S+ ^) K) A) H4 L3 [ | 1,2 - r$ h- o) R& d, v
| 6.3
9 U% G A9 Z* i | 洁净度 8 k# E- O; E% E X! z
| 1,2,3 & q9 U% C, f0 t! I2 Y, v; o8 i, a
| 1,2,3 4 g& ~3 x6 ^1 ^
| 1,2,3 5 H$ K0 h5 f7 A7 \
| 6.4
0 c" ]& \% c3 V+ \$ l( y, g9 x | 压力 : G5 L. V) ~% T) v
| 1,2 2 C- r1 R6 e! ~0 V' h
| 1,2,3
6 D' y6 B$ Z! K0 D8 E \ | 1,2,3 3 y4 R2 t! a" V& w" v
| 6.5
; }/ X; o' {) y5 m, D | 平行度
! c2 d* o) t( ? | 1,2
9 h& B: ?+ E( z% F# V+ \ C/ K" g- n | N/A $ E4 z8 t! s) Z9 H' ~/ K
| OPT (1,2 only) ( h" @6 _6 P, ?& K' w
| 6.6 / N- W, o/ [( |- Y4 {
| 空间泄漏 8 h" }% f9 [5 ~% T8 i1 E
| 1,2
0 q$ q& Q5 M' K& Y! |" i8 ] | 1,2 5 g% c/ p" l/ M' d' Z5 M5 V
| 1,2
" D& P3 I, i* @ H! S# f | 6.7 - C1 [6 Q& A* R G" L2 j
| 恢复率 + ~1 b& W" b$ D( r1 b, U2 ]
| N/A
5 F. A* j# G; Z) J7 g* e, G/ B | 1,2 6 w! `7 z; G1 N3 U" h9 `! i9 d
| 1,2
3 T/ b! ~) r8 H; m8 D% ] | 6.8
( Z( f- k, n# l- N. q; N: U0 f | 粒子沉降测试 + B" }8 b& L8 s0 Z2 I& X& `) Y7 B
| 1,2,3
! @# w8 a8 i' P- u. H( _* p | 1,2,3
* X$ Z& z. `; y: L6 f% c7 | | 1,2,3 1 t, S7 E0 Y$ G. i$ h- s, F
| 6.9 % b: g( j3 v7 ^ ]/ Z% l
| 照度
7 `+ ^4 v: [. \, m' A | 1,OPT(2,3)
: B: Y/ b! b; \# S9 K8 k, J | 1,OPT(2,3) 9 ~( R. i) W) r/ ~. g
| 1,OPT (2,3)
, L$ Z" H) [5 k/ U' K0 c6 V6 [# p | 6.10
& }4 a, Q, J& m' I/ a, }6 ^$ g% H | 噪音
8 }+ q. N+ \3 d# e, z/ x | 1,2,3
9 c: p! @0 S. p% j | 1,2,3 ! @* J* O* u5 A) E; J
| 1,2,3 3 v2 A: t# r) ]7 u" O3 C
| 6.11-6.13 0 z0 Q% b7 r, r% Z
| 温湿度
) g) u1 f- t/ w4 k6 Y9 j5 b2 g; ~ | 1,2,2 ; j5 _& R! S6 ]3 {, ?
OPT P7 a* F& q& |) |. a1 |! u
| 1,2,3
" c5 F, C7 J! D0 `/ KOPT ) I. j8 a7 v' Z$ s# Q
| 1,2,3
$ T% o0 K( e n) T: Y d; U( NOPT
5 x3 H1 ]$ [; P$ y5 D# x Y; n( _ | 6.14
1 o8 G' O$ j8 M6 i4 g5 @ | 振动 4 p3 V& j) W! n( f, x
| OPT
. i7 l7 H$ s8 M! { | OPT
. Y7 v9 z$ i( X+ k | OPT
% V8 o3 o3 S# f: S4 @ |
7 X# S, e6 m& [7 h; i测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序( I! c, M' v( A/ l5 X* h
1: 测试适用于 As-built
+ e; h( [4 I! T7 E7 @; G3 ?" g状态 ) r, x/ T H& A
2: 测试适用于 At-rest6 n/ m1 e- X& S* z U0 T
状态
$ w5 n. B$ h3 ? 3: 测试适用于 Operational' h3 i6 p g6 G* Y3 Z7 o2 e
状态
" f2 o6 Z& X3 p+ `( n" @, q N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞( N3 a" u' i" a( O/ E( m2 |% ]! D- O
OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定 * g8 p' \1 ^# b
由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。+ J( F3 Y- o0 G) V: F. E! {2 m6 j
至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。
) ]- B; B5 E0 ^8 p& x. l% r第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：2 T/ Y/ Y- i1 u5 N8 O ?3 r
A. 风速量测
4 L2 A& M* N- T! O! _ gB. 风量量测
+ ~; O; e$ x; D+ H1 ^) R* zC. 前两项的均匀度分析
! Y: g9 o# p6 d) PD. 滤网泄漏测试" `* `2 O* \+ o0 I! d/ y
E. 洁净度测试
6 @5 K: E! w9 N: r$ @5 iF. 压力量测
, K6 Z" _% z% g+ ^6 T第二级〈Level II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
- Y9 l# @7 N8 c6 c4 L; UA. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉+ p2 h$ ^6 _( y: U* o' I$ \
B. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉1 C3 X8 f* u: e( N8 ?
C. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉
9 f4 s1 f3 `. R/ A' ?! SD. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
6 V5 u) w# n1 }8 _+ G第三级〈Level III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
6 O# G' B! \0 K7 c/ f! bA. 照度与其均匀度# ~7 B3 a& ?+ c; ^
B. 噪音测试" c+ Z# K9 O' w0 J* |
C. 振动测试: H/ X- P. K) P
D. 温湿度测试
/ k$ C4 [5 F& p1 T4 Y 9 q: [% [; O9 E& R7 @, V
' b: i& m, J- ^3 ^0 H
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