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洁净室的规程与规定3 H7 s3 t) ^, H: P) b! d! ?
3 D) G c$ z* a/ E& y: ~* i在最开始的时候,规程和规定在洁净室工程中发挥着重要作用。当第一个现代洁净室标准于六十年代颁布时,它作为一个国家标准很快便产生了国际性意义。直至九十年代,美国联邦标准209E根据空气悬浮粒子的浓度用科学方法制定了洁净室及受控环境的等级。. ~8 g" @' ~1 L! R8 h. f1 B) B* T- O" I
全世界承认的洁净室标准所产生的影响可以用于解释八十年代以来在微电子领域里日益全球化的技术飞速发展。美国、日本和欧洲都在为相同的任务和相同的目标而努力。而制药行业的情况与之截然相反,一方面是技术传统,另一方面是权威部门有更强的影响,这就导致并形成了技术上的巨大地区性差异。
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洁净室的规程与规定.pdf
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