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本帖最后由 wwjxgz 于 2010-6-4 21:33 编辑
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1 \% s, z5 E8 ~. N9 M热处理对 TiAlCN涂层组织和性能的影响
# g I9 A$ V' ^9 B( Y4 K张旭海, 陈倩栎, 蒋建清, 方 峰, 江静华, 曾宇乔
: _: |& \- Z$ C7 E6 B$ U(江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室 ,东南大学材料科学与工程学院 , 江苏 南京 211189)
; G9 S/ r& j" o1 ^摘 要: 在Ar气条件下 ,对反应磁控溅射法制备的 TiAlCN涂层进行 500～1100 ℃热处理。采用 XRD、Raman和 DSC,研究不同热
& x+ y7 f) Z7 T处理温度下涂层微观结构的变化 ,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明 ,经 600～800 ℃热处理后 ,( Q/ q/ e, y5 Q$ |9 K5 U
涂层非晶碳相明显增加 ,使涂层形成纳米复合结构 ,这导致显微硬度显著增加 ,膜基结合性能增加;在 900～1100 ℃热处理后 ,由9 w4 p7 H% g* c
于涂层中六方AlN相的析出 ,导致涂层显微硬度急剧下降 ,且韧性下降。
* |9 w, P1 B/ x% x关键词:TiAlCN; 热处理; 硬度 |
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发表于 2010-6-4 21:02:42
